單一主機,可同時取用純水與超純水。
產水量:超純水 > 0.6 L/Hr、純水18 L/Hr
比阻抗值 (MΩ.cm, 25 oC) ≧ 18.2
微生物 (總菌落數, cfu/ml) < 1
總有機碳 (TOC) < 10 ppb
總矽酸鹽 (Total Silica, ppb) < 3
操作溫度5-35℃
符合ASTM Type 1等級 ; SGS認證
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